磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。
而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。溅射靶材射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,目前常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。
磁控溅射就是以磁场束缚和延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。电子的归宿不仅仅是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿。但一般基片与真空室及阳极在同一电势。磁场与电场的交互作用。使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是仅仅在靶面圆周运动。至于靶面圆周型的溅射轮廓,那是靶源磁场磁力线呈圆周形状形状。磁力线分布方向不同会对成膜有很大关系。矿山就地冶炼多数采用传统的坩埚法熔炼,因生产工艺和处理物料性质不同,所产合质金的含金量也不一样,直接交售银行因含金量不高或含银不计价等原因,有的矿山为提高质量和经济效益采取了化学法除杂再次熔炼或电解法进行金银分离精炼。 在E X B shift机理下工作的不光磁控溅射,多弧镀靶源,离子源,等离子源等都在次原理下工作。所不同的是电场方向,电压电流大小而已。
在铝化物涂层中加入Pt,增加了Al的扩散速率DAl,降低了其活度αAl,因而促进了Al从浓度较低的基体向浓度较高的涂层中的上坡扩散,减缓了涂层-基体互扩散所引起的铝贫化。Pt能够替代晶格中的Ni原子而降低涂层表面的Ni/Al比,降低形成保护性Al2O3膜的临界铝含量。Pt能够降低S的有害作用,避免氧化膜-金属界面处空洞的形成,提高氧化膜的粘附力。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。
国内某公司产出的铜阳极泥高镍阳极泥镍含量高达45%左右,镍主要以NiO、NiO2、(Ni、Fe)3O4的形态存在。可供该公司选择并且在工业上成功应用的工艺流程仅有两种:一种是利用硫酸化焙烧蒸硒,酸浸脱铜和镍;钢丝绒试验:用一种规定的钢丝绒,在一定的压力和速度下,在镜片表面上磨擦一珲的次数,然后用雾度计测试镜片磨擦前后的光线漫反射量,并且与标准镜片作比较。另一种是利用加压浸出脱除镍铜,然后利用硫酸化焙烧蒸硒。这两种方法都需要硫酸化焙烧,处理过程中设备腐蚀严重而且会有SO2溢出,工作环境条件差。
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